光圈、局部光圈與PV、RMS之間的區(qū)別
來(lái)源：www.yunshuchuan.com 發(fā)布時(shí)間：2022年01月28日
面型是光學(xué)制造中的重要精度指標(biāo)之一，簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)是表面不平整度；這就好像鋪水泥路面，鋪的好的表面很平整，沒(méi)有坑坑洼洼，車子開(kāi)過(guò)去好的路面很平穩(wěn)、不好的坑坑洼洼的，就顛簸得厲害！面型的兩個(gè)參數(shù)PV和RMS值，PV是表示路面的高處與低處的差值，RMS值是全部路面高低的平均值；因此PV值能夠做到0.1個(gè)波長(zhǎng)，RMS值至少在0.02左右，一般來(lái)說(shuō)，PV值是RMS值的6-8倍。目前很多商家說(shuō)出所謂的1/8波長(zhǎng)或1/10波長(zhǎng)實(shí)際上多指RMS值，其PV值往往達(dá)不到1個(gè)波長(zhǎng)，而良好的天文觀測(cè)器材應(yīng)該具備PV=1/2波長(zhǎng)才算是精度比較好的。
圖紙中的光圈數(shù)是加工元件與樣板的偏差而產(chǎn)生的干涉條紋數(shù)；而干涉儀測(cè)量時(shí)，參考球半徑（類似于樣板半徑）可變，條紋多少是可以變化的，測(cè)量結(jié)果（PV和RMS值）是加工元件與接近參考球的偏差.
一道圈是面型偏差有二分之一個(gè)波長(zhǎng)大小,546.1nm是標(biāo)準(zhǔn)波長(zhǎng),PV是面型偏差的大值,除以546.1就是幾分之幾波長(zhǎng),和二分之一個(gè)波長(zhǎng)比較,有幾個(gè)二分之一波長(zhǎng)就有幾到圈.
總之，光圏和PV、RMS是兩種不同的評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。局部光圈如果作為PV來(lái)評(píng)價(jià)的話，是比對(duì)的PV值還要高。
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在實(shí)際中，光學(xué)圖紙對(duì)光學(xué)零件的要求用光圈數(shù)（N）和局部光圈表示，而在加工出來(lái)后用zygo干涉儀檢測(cè)卻是pv和rms值,用ZYGO可以測(cè)出光圈，局部光圈，PV。RMS。不同的設(shè)置測(cè)出來(lái)的是不同的。并不是出來(lái)的都是PV。光圈和PV的關(guān)系是：光圈好的。PV肯定好。PV好的。光圈不一定好。PV是光圈的波峰和波谷的相對(duì)值。不考慮局部誤差的影響。說(shuō)光圈時(shí)一般要考慮局部光圈誤差的影響。
圖紙中的光圈數(shù)是加工元件與樣板的偏差而產(chǎn)生的干涉條紋數(shù)；而干涉儀測(cè)量時(shí)，參考球半徑（類似于樣板半徑）可變，條紋多少是可以變化的，測(cè)量結(jié)果（PV和RMS值）是加工元件與接近參考球的偏差.
一道圈是面型偏差有二分之一個(gè)波長(zhǎng)大小,546.1nm是標(biāo)準(zhǔn)波長(zhǎng),PV是面型偏差的大值,除以546.1就是幾分之幾波長(zhǎng),和二分之一個(gè)波長(zhǎng)比較,有幾個(gè)二分之一波長(zhǎng)就有幾到圈.
總之，光圏和PV、RMS是兩種不同的評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。局部光圈如果作為PV來(lái)評(píng)價(jià)的話，是比對(duì)的PV值還要高。
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